羅茨真空泵與其它類型的真空泵相比較,有如下優(yōu)點(diǎn):
1)在很寬的壓力范圍內(nèi)(10?10負(fù)二次方Torr),具有穩(wěn)定的大抽速,能迅速排出突然放出的氣體,彌補(bǔ)了油封機(jī)械泵和擴(kuò)散泵的不足,很適宜作機(jī)械增壓泵之用。在有水封或油封的情況下,能直排大氣抽真空,也適宜作大抽速的粗真空泵。
2)設(shè)計(jì)先進(jìn),結(jié)構(gòu)合理,轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)于與泵體間均有間隙,互不接觸,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可用較低的動(dòng)力獲得較大的抽速,有顯著的節(jié)能效果。
3)轉(zhuǎn)子有良好的幾何對(duì)稱性,工作平穩(wěn),能用提高轉(zhuǎn)速的辦法獲得大抽速,從而做到結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕。羅茨真空泵
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4)泵腔內(nèi)不發(fā)生氣體壓縮,加之運(yùn)動(dòng)件之間有間隙,對(duì)抽吸氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,因此可抽出可凝性蒸汽。
5)泵腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)件無需用油潤(rùn)滑,能避免油蒸汽對(duì)真空系統(tǒng)的污染,有利于獲得無油真空。
6)無需進(jìn)排氣閥,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,噪聲較低,泵腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)件互不接觸,不易損壞,維護(hù)費(fèi)用低。
7)啟動(dòng)快,能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到極限真空。
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